SigmaClean及SigmaDSC硅片系统均采用了专利技术的激光组件，同时系统保障了Debris-Free技术，提供了最高达250片/小时的处理能力。对于Dot-Matrix, BC-412, T7都有极好的识别度，可满足各类深浅标识的应用。由于GSI亦是唯一在FA方面进行大量投入的厂商, 所以此系统可以适合在各300mmFAB内现有FA及未来FA功能扩充的需求。

       GSI Group Inc., www.gsig.com

       Booth: #3575