
2005年国际半导体技术蓝图(ITRS)的测试和测试设备工作组,勾画了我们这个行业里这部分它认为是关键的驱动力,也定义了它认为的更困难的挑战和未来的机会。这个版本的新意在于重新组织了测试技术需求的部分,以这种形式出现,使得能够不断地将不同的芯片设计集成到一起-这是测试和测试设备发展中的一个主要因素。工作组注意到测试已经从传统上重点的缺陷筛选和加速分类,转移到对于可靠性和良率的认识。为了确定这些挑战的影响,决定将它们划分为关键的驱动,清晰地定义那些称之为边界条件的东西,其间测试操作必须能够在考虑结果和成本的情况下满意地运行。
工作组重点强调的是器件趋势,测试工艺复杂性的增加和测试成本的持续削减。在“困难挑战”方面,主要的障碍在于为了良率学习而进行的测试,可靠性筛选,系统缺陷的增加和潜在的良率损失。未来的机会则聚焦在测试程序的自动化,仿真和建模,集中测试和系统可靠性解决方案。
2005年ITRS测试和测试设备工作组也表达了对于不可避免的大幅增加成本的关心,这来源于不断地将更先进更昂贵的技术应用于测试和测试设备,以解决那些随着每个新设计节点的到来,新工艺和新器件结构给半导体业界带来的各种特有问题。可以确定的是,在业界的测试中进行一些折衷考虑是必须的。

来源:半导体国际 作者:Alexander E. Braun,Semiconductor International 高级编辑 时间:2006/3/18 0:00:00