内容导读：

小型红外光谱分析仪2030，InDuct 红外光谱传感器灵巧的整合设计，能深入任何工艺中探查故障，监测，控制或终端探测。2030能在众多的混合气体条件下有效提供实时完全定量的相应气体的分压强信息。

　　此传感器最适合在真空腔室的工艺条件下匹配应用。InDuct传感器很容易地连接至各种真空部件接口：如各种阀门或定制的测量端口，以便原始设备制造商和最终用户的应用（无需取样操作）。

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Booth：#3423

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来源:半导体国际 作者: 时间:2006/2/10 0:00:00