内容导读：

NesLab SWX100系列的热交换器，无氟环保，型号具有中、高温可供选择， 3倍超长寿命的去离子过滤器，以及能耐受长时间运行的优点，能满足蚀刻, 沉积, 化学机械抛光, 物理气相沉积,化学气相沉积, 高密度等离子, 测量和溅射等工序设备的应用，广泛应用于200毫米和300毫米的晶圆制造中。安装简单，维护容易，提供遥控操作和与系统数据交换功能，系统微机的菜单式操作设计，使设备的程序设定能一次完成，在日常的使用过程中，使用者仅需调整流量即可优化每次使用的温度。使一个复杂的操作过程变得简单和轻松。同时具有应急开关和工作状态锁定装置，以确保操作员工的人生安全。
Thermo Electron Corporation www.thermo.com Booth：#1633

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来源:半导体国际 作者: 时间:2006/1/18 0:00:00