内容导读：

M.A.P.S. 供电系统满足真空环境中加热和蒸发操作对能源的需求。设备安装相-角度- 线的可控整流器用以控制电流传送。系统具备四个工作模式：HTR模式用于加热工艺操作;EVP模式用于标准热蒸发工艺操作;THE模型用于高温蒸发工艺操作;LTE用于低温蒸发工艺操作。这些模式都能灵活的配置最大达到8 kW的输出功率。
　　Kurt J. Lesker Co
　　www.lesker.com.

　　

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来源:半导体国际 作者: 时间:2005/11/18 0:00:00