整体式的定位扫描系统P-628系列纳米平台是闭合回路, 挠曲引导压电平台。平台有950 mm的移动范围,其精度<;1 nm。设备具有运动零摩擦, PICMA陶瓷压缩长寿命驱动电机, 0.03%的定位精度以及芯片识别能力等优点。
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