为低温多晶硅显示器厂商设计的TCZ 900X提高了产能并降低激光器晶体的损耗。由于设备使用窄-宽高能量的曝光光束,在一次曝光操作中,设备能够覆盖面板的整个宽度并沿着面板进行扫描曝光。使用此系统,用户可以在增加面板的使用寿命,获得更高的图像分辨率,降低面板的功耗,提高对液晶显示器、玻璃基板系统以及下一代有机发光器件的支持等方面大为获益。TCZ 900X有平坦化的表面能够满足不断缩小栅氧的工艺需求。 TCZ GmbH www.teamcymerzeiss.com