Multiscan atomic force probe (AFP) X系列纳米探针用于定位、表征和探测半导体电学测试中的失效器件。它能够探测90 nm、65 nm技术节点的晶体管和电路。这种专门设计的探针适用于大到4英寸的样品，能够很容易地被安装于X-Y-Z测微计镜台上，然后，每一个AFP头能够在样品上另外一个探针尖100纳米之内的区域任意定位。其基于原子力显微镜的技术具有10 nm以下的定位控制能力。
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