ANTARES是一款超凝态过冷动力学清洗系统，可以在整个器件制备流程中用于清除会导致产量降低的缺陷。它可处理200nm和300nm的晶圆，使用全干式非反应的工艺来清除前端（FEOL）和后段（BEOL）工艺步骤中产生的微粒缺陷。用户可以在传统的湿法清洗和scrubber方法不起作用的地方，通过该系统在工艺制程中插入一个工艺步骤以减少缺陷。它的特点在于使用固态气雾剂而不是水来进行清洗，这样能够避免形成水痕并提高产出率。
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