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Sela
内容导读:

  EM2是一种在SEM、TEM和S/TEM应用中,集成的、自动化的、独立的制样设备。它能够在25分钟之内自动可靠地制备出<;20纳米的样品,放置于支撑网上,装载到基座上,为SEM工作台上聚焦离子束的最后减薄做好准备。样品也可以从某一面进行翻转和劈开。EM2不但能够检测结构表面的缺陷,对于嵌埋于下层的缺陷也能检测。它能够对于1:1:1和根本就没有面的陶瓷材料进行处理。此外,EM2能够从相对于晶面45°角的位置对图形进行观察。
  www.sela.com


  
  

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来源:半导体国际 作者: 时间:2005/9/15 0:00:00
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