据Reed Electronics网站报道，ASM International N.V.近期宣布，其子公司ASM Europe B.V.获得了台湾Inotera Memories公司的A412型300mm圆片多通路垂直加热炉订单，产品将于今年三、四季度陆续交货。

作为1968年以来全球最大的芯片制造商，ASM为氧化、扩散、LPCVD、原子层淀积(ALD)和ALCVD等工艺制程提供300mm垂直加热炉。A412是公司Advance(R) 400系列的最新成员，该系列已经安装超过1200个反应器。

A412竖炉可以为其客户提供以下独特的优点：每套系统的双反应器可以在设备小占地面积的前提下提供更高的产能;该系统可以同时对200mm和300mm圆片进行服务。

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http://www.reed-electronics.com/semiconductor/articleXml/LN403428401.html