JVX5200是利用X射线技术，对超薄金属膜和叠层结构进行在线膜厚测量的设备。这种X射线技术对低于100 的薄膜和叠层有非常高的分辩率。还能够独立地并行测量材料密度和粗糙度。 www.jordanvalleysemi.com
