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内容导读:

  Da VinciTM(达芬奇)系列是用于半导体制造的高量产、 单晶圆的湿法表面处理设备。它们用于后段工艺过程(BEOL)聚合物的清洗,背面蚀刻和清洗以及一些新兴应用的处理,如用于90纳米以及以下技术标准200nm和300nm晶圆制造的高k值、金属门极、铁电存储(FRAM)和磁随机存储(MRAM)等技术。
  该系列的产品为制造上提供了对晶圆表面更好的控制,减少媒介的消耗和缺陷密度,并且将产能提高100-120%。
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来源:半导体国际 作者: 时间:2005/9/15 0:00:00
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