一年一度的 “2005 FSI亚洲知识服务系列研讨会”,8月间在新竹、汉城和上海三地先后举办。而在上海站的活动中,来自国内外的一流专家、学者和业界领袖就晶圆表面处理方面的最新科技进展、以及全球半导体产业和技术发展动向进行了介绍与交流。通过把表面处理最先进知识和FSI的实际经验传授给中国用户,FSI决意在中国树立起技术领导者形象。
在8月16日举办的上海研讨会上,来自美国亚利桑纳州立大学的SriniRaghavan教授就“水溶系统中的微粒附着与去除基本原理”主讲,内容覆盖了界面的电现象、互作用力、DLVO理论、水溶清洗技术、水溶清洗设备和干法技术等,为中国的工程师上了生动的一课。
FSI行销副总裁Scott Becker说,FSI举办这些知识服务系列研讨会的目的,除了给集成电路制造厂家带来实用的知识外,更重要的是给业界创造一次互动和讨论的机会,来自FSI、领先集成电路制造商、合作伙伴企业的专家和资深人员的演讲,将给听众带来集成电路制造业最新的发展方向、表面处理技术动向以及使用FSI的经验和结果。FSI还邀请了大唐微电子副总裁兼技术总监杨延辉以“中国集成电路产业发展和自主创新”为题,阐述了中国集成电路设计企业和制造企业互动配合的发展模式。
Scott Becker 表示:“作为一家在半导体产业拥有30年经验的领先设备供应商,2003年FSI采取了直销模式进入全球市场,这使我们更好地了解各地客户期望,并同用户一起研发新工艺,根据用户生产特性开发相关机台,这使我们能够更好地满足客户的需求。”而在中国市场,据悉FSI正在逐步减少二手设备的业务量,努力在中国用户面前树立起技术领导者形象,Scott Becker说:“我们在中国市场这种改变,2006年就会看到结果。”
中国半导体产业正在突飞猛进发展着,Scott Becker认为,“为了追求低成本制造能力,在那些对工艺要求不高的低端产品上,短时间内中国业者大量采用二手设备是可以的,但中国要想尽快赶上世界发展水平,就应该下决心采用最先进的制造设备。”实际上,在降低用户使用FSI机台成本方面,FSI正通过它的支援服务帮助客户延长己安装FSI设备的使用寿命,以帮助客户获得更高的资本投资回报。
面对中国本土公司在表面处理技术上的局部突破,Scott Becker认为短期内尚不具备对FSI构成竞争压力。一是,半导体制造设备供应商要面向全球市场,就目前中国本土供应商而言,要走向全球市场还需长期努力;二是,半导体设备及相关工艺技术开发能力,要靠一点点不断的积累,显然我们的中国同行在此方面的积累还是相当不够的,中国本土公司要有足够的耐心才行。
FSI是半导体设备产业界中最早建立研发实验室的公司之一,目前两所应用实验室分别设在美国明尼苏达州的Chaska及日本的冈山市。Scott Becker表示,FSI在研发及技术发展方面的主要投资是:新技术的授权、建立合资公司及收购的机遇,以确保FSI有足够能力推动客户进入下一代技术领域。