据中国半导体设备及材料网、大公网网站报道，由菲洛泰克(ferrotec)日本总社和上海申和热电磁电子有限公司共同投资建造的上海汉虹精密机械有限公司已于5月18日竣工并正式投产，其产品体系涵益了NC镂铣、NC车床、加工中心及以单晶炉为代表的各种半导体相关设备等三大类，在多个领域填补了我国精工制造业空白，达到国际先进水平。

据了解，此前我国专业半导体设备主要依赖进口，汉虹精机的投产可填补国内空白。自去年开始，汉虹精机的6英寸单晶炉由半自动实现了全自动，今年将生产8英寸单晶炉，后年将有望生产12英寸单晶炉。在拥有知识产权的全自动8英寸单晶炉的基础上，还通过自主创新开展后续研发，目前正在进行EFG法晶体生长炉的调研。此外，在数控车床和加工中心方面，今年会与日本一家研发机构合作，生产高端数控机床，明年四月出样机，首批量产一百二十台。而在数控木工镂铣机产业，汉虹精机已经国内领先，现正走向世界一流水平，从以往的三轴联动转而研发生产五轴以上多联动的机器，产能从去年1亿人民币提高到今年1.65亿人民币，五年内达到7亿人民币。

汉虹精机前身是一家和日本企业合作设计并制造玻璃硬盘用的研磨机和抛光机的公司，后由木工机械转进精密机械制造领域，生产高效能、经济型数控镂铣机，产品远销美国、日本及东南亚等地，后又与日本、台湾企业合作，组装生产数控车床及成立数控加工中心，并开始生产具有自主知识产权的太阳能电池用直拉式硅单晶炉，其研发中心被上海市政府定为「上海市企业技术中心」。