据Semiconductor Reporter网站报道,Aviza Technology Inc.近期宣布,该公司向欧洲最大的DRAM厂商销售了一套Celsior单圆片原子层淀积系统(ALD),该系统将主要用于90nm大容量DRAM的生产。Aviza是全球领先的半导体设备和制程工艺供应商,主要领域涉及半导体、化合物半导体、纳米技术及其他相关产业。
这是提供给顶级芯片厂商的第三套设备,Aviza表示,上个月该公司销售给一家中国领先地位的IC代工厂,同时还销售给台湾的Inotera Memories Inc.,这两家公司均为Infineon生产DRAM芯片。
预期ALD的快速增长将使其在半导体行业内所占的比重越来越大,VLSI Research Inc.表示,在2006-2011年间其复合年增长率将达到22.8%。
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