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4075 and 4076 DC/RF/脉冲参数测试仪用于对采用先进加工技术制造的器件进行表征。可测量射频和直流特性，以满足日益小型化和多样化的半导体器件的要求。它们不仅支持300 mm SECS/GEM自动化协议，高速(1 kHz至2 MHz)电容测量，而且支持超常热敏器件需要的10 nsec短脉冲IV测量。
　　Agilent Technologies Inc.
　　www.agilent.com.

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来源:半导体国际 作者: 时间:2005/8/11 0:00:00