在半导体制造设备几乎全部依赖进口的中国，似乎很少能听到本土业者的声音。但2004年中国本土半导体专用设备的销售额为4.23亿元，比2003年增长了67%，也着实让人惊叹。
　　在7月21日，由《半导体国际》举办的“晶圆清洗技术”研讨会上，中国科学院光电研究院、中科院微电子研究所研究员王守国博士以“常压射频冷等离子体清洗光刻胶设备技术”为题，介绍了中科院自主研制的一种新型常压射频低温冷等离子体放电设备。王守国在来自国内各大晶圆厂的200多名工程师面前，充满自信地与国外同类设备进行了技术指标比较。

　　据介绍，中科院在用该设备进行了清洗光刻胶工艺的实验研究，其工艺实验包括：清洗速率与放电功率、氧气流量和衬底温度的变化关系。清洗后的电镜分析证明，经等离子体清洗后硅片表面无损伤、无残胶。
　　王守国表示，低温、大范围、简单易用的连续处理能力，使我们的设备对表面清洗非常有效，而最具竞争力的就是，“如果说要花1500万美元买台进口设备的话，那我们能卖到150万美元就相当满意了。”
　　尽管如此，国产设备目前要想进入国内晶圆生产线仍然是件困难的事。王守国说，他们自己研制的设备设计宽度达到400mm，甚至可清洗16英寸硅片，8英寸更是不在话下，应用材料的技术人员在看了他们的设备后，都表现出极大的兴趣。但目前的问题是，他们研发的设备并未经过生产线的考验。为此，王守国呼吁，国内的晶圆厂要有用国内设备的勇气，给国内设备企业一些机会，以打消人们对国产设备的疑虑。当然，为了满足国内生产线需求、提高不断开发新工艺设备能力，他们可以利用中科院申请国家研发资金相对容易的优势，期待与生产厂家合作。
　　据悉，华润上华最近已与中科院达成租赁中科院6英寸生产线的协议，至于中科院自行研发的清洗设备是否会应用在这条生产线上，王守国也不知可否。不过王守国表示，随着国内在晶圆制造设备的局部突破，国外设备在中国获暴利的好日子也不会太长了。

　　附文

把握中国封测业发展趋势，Intel技术开发与投资西部并举

 ; ; ; ; ; ; 面对微电子封装技术的未来挑战，总投资3900万美元的英特尔技术开发（上海）有限公司， 于5月在上海浦东外高桥正式落成。技术开发中心将为英特尔的快闪存储器事业部、封装技术研发部、用户平台研发部以及封装设备开发部开发尖端技术，并为中国用户提供客户服务支持。
　　英特尔技术开发（上海）有限公司坐落于浦东外高桥保税区的英特尔产品（上海）有限公司园区内，是英特尔继芯片测试和封装工厂后在上海浦东新区的第三期投资。英特尔产品（上海）有限公司总经理孙宗明表示：“我们将继续通过促进本土的技术水平来带动整个产业和技术向前发展。”
　　1998年，英特尔在上海建立起第一个封装/测试厂房，进行快闪存储芯片的封装和测试，总投资额为1.98亿美元。2001年9月，英特尔新增投资3.02亿美元，这使得英特尔在上海封装/测试厂的投资总额达到5亿美元。目前英特尔在上海浦东有三个封装测试工厂，分别生产闪存芯片、芯片组和微处理器芯片。英特尔产品（上海）有限公司已成为英特尔全球供应链的重要组成部分，向全球任何地方的客户供货。
　　随着长三角经营成本的不断提高、人才供求的失衡，为了追求低成本封测的实现，2004年4月英特尔在成都高新区投资2亿美元的封装测试厂已建成投产，而今年追加投资1.75亿美元的二期项目也已动工兴建，计划于2007年建成投产。面对中国西部便宜的用地、丰富而低廉的人力资源，英特尔投巨资在中国西部另辟生产基地，也在改变着长三角占有中国80%封测产能的格局。（面对微电子封装技术的未来挑战，总投资3900万美元的英特尔技术开发（上海）有限公司， 于5月在上海浦东外高桥正式落成。技术开发中心将为英特尔的快闪存储器事业部、封装技术研发部、用户平台研发部以及封装设备开发部开发尖端技术，并为中国用户提供客户服务支持。
　　英特尔技术开发（上海）有限公司坐落于浦东外高桥保税区的英特尔产品（上海）有限公司园区内，是英特尔继芯片测试和封装工厂后在上海浦东新区的第三期投资。英特尔产品（上海）有限公司总经理孙宗明表示：“我们将继续通过促进本土的技术水平来带动整个产业和技术向前发展。”

　　1998年，英特尔在上海建立起第一个封装/测试厂房，进行快闪存储芯片的封装和测试，总投资额为1.98亿美元。2001年9月，英特尔新增投资3.02亿美元，这使得英特尔在上海封装/测试厂的投资总额达到5亿美元。目前英特尔在上海浦东有三个封装测试工厂，分别生产闪存芯片、芯片组和微处理器芯片。英特尔产品（上海）有限公司已成为英特尔全球供应链的重要组成部分，向全球任何地方的客户供货。
　　随着长三角经营成本的不断提高、人才供求的失衡，为了追求低成本封测的实现，2004年4月英特尔在成都高新区投资2亿美元的封装测试厂已建成投产，而今年追加投资1.75亿美元的二期项目也已动工兴建，计划于2007年建成投产。面对中国西部便宜的用地、丰富而低廉的人力资源，英特尔投巨资在中国西部另辟生产基地，也在改变着长三角占有中国80%封测产能的格局。（姚刚）