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美国Cymer公司——一家半导体生产用的深紫外线（DUV）光源主要供货商与德国卡尔·蔡司SMT公司——一家专门生产芯片制造及制程控制用的光学系统的主要供货商今天宣布合组TCZ公司，这一家合资公司，致力于开发创新的生产设备计对前瞻的平面显示器(FPD)市场。这两家公司基于它们在雷射与光学组件方面广泛的专门技术，已开发了一种生产工具来改进薄膜晶体管（TFT）显示器的低温多硅(LTPS)制程。

主动式液晶显示器与逻辑电路整合或称作系统整合面板（SOP）及有机发光二极管显示器(OLED)的大规模的量产导入有很大的程度因为缺乏低成本的低温多晶硅制程而有所延宕。TCZ公司的细光束结晶雷射回火工具将填补这种空隙。TCZ公司运营总部将坐落在圣地亚哥，将会由前Cymer公司前瞻技术与应用部执行副总经理布莱恩·克莱纳（Brian Klene）来担任其执行长。克莱纳将向由Cymer和卡尔·蔡司SMT公司高阶主管所组成的TCZ公司董事会报告。Cymer公司拥有合资企业60%的股份，卡尔·蔡司SMT公司拥有合资企业40%的股份。

“现有的平面显示器(FPD)生产制程将满足不了产业对于做出高良率又高性能的显示器但又能有效降低成本的市场要求”，TCZ公司总裁与执行长布莱恩·克莱纳说。“我们发觉藉由我们在技术上、客户服务及支持架构的优势所带来的可靠、高良率、高性能的制程解决方案可以让显示器厂商认识到多晶硅的好处。我们的解决方案意味着低温多硅（LTPS）对平面显示器(FPD)厂商来说不再是成本高而无法采用的制程，而且客户也会在数量日益增加的更明亮、分辨率更高的显示器产品中受益。”

TCZ将利用Cymer公司在市场上领先的准分子光源技术、卡尔·蔡司SMT公司出类拔萃的光学系统及卡尔·蔡司IMT公司前先被认证的移动与控制机台能力来整合出可表现低温多晶硅(LTPS)技术的细光束结晶的雷射回火设备。TCZ细光束结晶技术比之前业界所采用的制程技术有更大的突破，它可将产量与质量提升一倍，也大大节省了费用。

卡尔·蔡司SMT公司总裁与执行长赫尔曼·格林杰（Hermann Gerlinger）博士说“Cymer与卡尔·蔡司SMT公司的关系建立在创新与成功的坚实基础上，这种关系在我们所共同开发的多项技术上得到了证明，”“我们对成为平面显示器(FPD)市场的创新解决方案的可靠提供者达成共识并由我们的技术产品、专门技术与服务的无接缝垂直整成而增强。我们确信这个合资企业对平面显示器厂商来说将是一种成功的结合。”

Cymer 公司总裁与执行长鲍勃·艾金（Bob Akins）说， “将近20年来，Cymer公司的光源一直用于产生更小的电路几何构型，激励速度更快的芯片为当今市场上的最先进的电子器件提供动力，”“尽管我们对半导体微影光源市场仍然保持坚定的承诺，我们打算将我们成功的历史经验带入TCZ公司，该公司将是利用我们在技术与服务这两方面的核心竞争力的企业。这是一个很好的机会来增强我们的影响力，并将填补具有高成长潜力的市场中急待填补的一个空隙。”

今天，TCZ公司还发表了该行业第一台有效降低成本的细光束结晶工具TCZ-900X的细节。

DisplaySearch，世界级领导的显示器市场调查与咨询公司总裁罗斯·扬（Ross Young）说， “预计平面显示器（FPD）市场的全球收入将从2004年的622亿美元提高到2008年的934亿美元。普遍预期低温多晶硅液晶显示器（LTPS LCD）和主动矩阵有机发光显示器（AMOLED）部分在2004年到2008年的复合年成长率（CAGR）将是13%与362%，而且在TCZ公司的解决方案的导入将有助于激励这两个极其有潜力的新兴显示技术更快成长。”

来自Cymer公司, 卡尔·蔡司SMT公司 和 TCZ公司的管理阶层将在今天（2005年7月19日）从美国太平洋时区上午7点30分开始提供录像带信息，在该录像带中他们将更详细地讨论该合资企业的创建及其首批产品供应。连上Cymer公司的网址www.cymer.com、卡尔·蔡司SMT公司的网址www.smt.zeiss.com 与 TCZ 公司的网址 www.tcz.com可看到本新闻快讯与该录像带。

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来源:今日电子 作者: 时间:2005/7/22 0:00:00