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Advanced Energy Industries, Inc.近日宣布推出其面向先进半导体应用的新一代 Aera PI-980 耐压 MFC（mass flow controller，流量控制器）系列。PI-980 MFC 旨在改善蚀刻 (etch)、化学汽相淀积 (CVD)、化学汽相淀积 (PVD) 和扩散 (diffusion)，该产品的创新技术提供更好的气流稳定性、更高的精确度、极为灵敏的反应以及卓越的实时流程控制。该产品极为稳定的流量可实现更好的流程控制和可重复性 (repeatability)，并实现产量最大化。

PI-980 产品系列补充了最近推出的 Aera Transformer 780/7800 数字 MFC 系列，使晶圆场和原始设备制造商 (OEM) 得以实现用于不同流程和不同应用要求的 Aera 最新技术的标准化。

通过结合 NeuralStep 控制技术与综合性压力传感器，PI-980 MFC 可显著提升 MFC 的反应速度。这一加速几乎完全消除了上游和下游压力干扰的影响。更快捷的反应以及完善的流动稳定性带来了更精简的流程，稳定的铅室气 (chamber-gas) 交付，更高的精确性、更高的可重复性以及更广泛的多种气体 (multi-gas) 控制，并且带来了优化的流程绩效和最大化的产量。

此外，通过消除对许多传统型的昂贵的气体分配盘 (gas-panel) 部件的需求，PI-980 MFC 减少了系统的总持有成本。该产品适用于多种气体、涉及面广的功能性显著地降低了库存要求。

该公司负责产品和经营的执行副总裁 Steve Rhoades 指出：“我们由 NeuralStep 技术支持的全新 PI-980 MFC 是 Aera 全球知名的 MFC 系列中最佳的新品。这是 AE 继续专注于技术革新的明证，也是 AE 继续致力于增强客户竞争优势的明证。”

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来源:今日电子 作者: 时间:2005/7/6 0:00:00