内容导读：

　　Spartan Sorter是新一代300 mm晶圆传输系统。Spartan是统一的晶圆管理系统，体积小，但能尽快尽可能无污染地完成其传输晶圆的主要工作，该系统完全符合SEMI标准，在晶圆分类方面有多种选择。Asyst Corp., Fremont, Calif., www.asyst.com.

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来源:半导体国际 作者: 时间:2005/4/13 0:00:00