PCM3是新一代基于Linux的图像引擎，用于高精度，高速度CD测量。这个控制模块与以往的系统相比处理速度提高了10倍。在fab中可提供实用的3-D散射测量法，提升资金利用效率和缩短65纳米和45纳米的投放市场的时间。PCM3同时能测量工艺变量，包括顶部和底部的CD,边墙角度，层厚度变化和DRAM内单元结构曲率，他可以产生更高分辨率的组建数据库。Accent Optical Technologies, Bend, Ore., www.accentopto.com.
来源:半导体国际 作者: 时间:2005/4/13 0:00:00
