2005年3月15报导--吉时利仪器公司最近发布了用于半导体生产过程中参数生产过程控制测试的第三代圆片晶圆射频 (RF) 测量功能力。 对于吉时利公司第三代射频 (RF) 参数测量系统RF选件解决方案（是一个选配件），我们感到陌生的是其下列独特的能力其独特的新内容是：能提供连续、自动、实时的测试量质量监控，在提供最高优等超等质量结果的同时，也获得了最高测量信息吞吐产能通过率量、最低运行成本，以及用最简捷的方法使用任何竞争对手的产品易于使用的特点。 此外，吉时利公司的射频 (RF) 参数测量系统选项RF选件测量功能力（系统）是目前唯一一个在全球范围内获得验证的半导体参数测试系统，适合于世界范围内200mm和300mm晶圆的制造工厂的半导体参数射频 (RF)测试系统生产实验室进行应用参数工艺控制的测试系统，这些应适用于用包括高性能逻辑电路生产和高性能模拟集成电路生产。
较高最大的测量完整性。 自动连续的测量完整性监控原理是：测试机台仪自动检测事件，判断该事件是否会否使导致射频 (RF) RF定标校准无效，并自动触发校正动作作用，如无人值守的自动再标定校准功能
。一些 系统配置方面的改变，如改变探针卡板，都可被设置用来触发一个无人值守的自动再校准功能标定。 这些事件也还包括基于时间的触发事件，如到期的射频 (RF) RF定标校准，。 最终的触发事件类级别是可基于测量得出的基础。 例如，当探测器正在检索至下一个现场时，在后台，测试仪将自动核实检验探针触头的质量，如需要，并还可触发自动探针清洗，如果需要的话。
较高的测量完整性使用户无需请射频 (RF) 的RF专家人工检查原始数据曲线的异常情况的异常情况，这些，因为异常情况将将认为该测量为不可靠会对可疑的的射频 (RF) RF测量结果进行提示。 较高的测量完整性也剔除避免了再探测和再加工的高成本，使得它在操作上与符合高效务实的300mm实验室的要求兼容。
较高最高的通过量产能。 吉时利公司的射频 (RF) RF选件具有和S680型SimulTest选件、以及专门设计恰当的测试结构和探针板卡，是市场上所销售的唯一的一个射频 (RF) RF测试系统，可在同一次探针touchdown中并行进行同步直流 (DC) 和射频 (RF) 测量。可在相同的探针触地范围内并行进行同步直流 (DC) 和射频 (RF) RF测量。 这实质上获得了比类似方法（执行顺序的直流 (DC) 测量，然后再进行RF测量）更高得多的通过测试吞吐量，这些类似方法执行顺序的DC测量，然后再进行RF测量。 此外，可以利用行业最大的射频 (RF) RF参数提取程序库从已测量的s-参数中，第一次实时提取和反嵌入射频 (RF) RF参数，并且现在首次实现了反嵌入，整个过程无需后处理，节省了时间，提高了信息通过量吞吐量。
此外，综合结合S680型参数测试系统来看之后，只有吉时利公司具备了40GHz频率测量过程中的DC-RF 同驻功能直接驻泊（direct-dock）能力。 竞争其它对手的产品往往要求射频 (RF) RF专家采用扭矩扳手手动改变更换探针板探针卡，然后再进行是手动再标定再校准。 而吉时利公司的射频 (RF) RF选件解决方案将自动改变更换射频 (RF) RF探针板探针卡，所用时间仅为手动调整时的很一小部分，提高了总信息通过量吞吐量。 在射频 (RF) RF测量结果中，自动化换卡功能同时也增加了测试的完整性，因为它消除了导致系统-与-系统之间数据不匹配的最主要的因素，即人为因素自动探针板的自动改变更换也通过消除了在系统-至-系统的变化中由人为干预而导致的重大可变性，提供增加了测量完整性，。 同时，因为不再需要射频 (RF) RF专家在现场进行维护和技术支持，所以降低了运行成本。 自动探针板探针卡改变更换功能力是吉时利公司射频 (RF) RF选件解决方案的一大新的特性。
来源:半导体国际 作者: 时间:2005/3/23 0:00:00
