内容导读：

      CR-288为半导体制造商提供一个可靠的，成本有效而且非常有用的系统。它能控制液体化学试剂的浓度，现已安装在CMP和晶圆表面处理设备。这个系统能够节约58%的化学试剂。它应用了优化反馈控制技术，并且能快速传递非常精确的化学试剂地的信息。CR-288没有可动部件，是一个过程控制，尺寸为2 × 2 × 3 in
Jetalon Solutions Inc.,
www.jetalon.com.

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来源:半导体国际 作者: 时间:2005/3/8 0:00:00