内容导读：

 ; ; ; ; ; ; LRS15000-TFT3，分辨率0.75祄，最大掩膜版尺寸达1300 × 1500 mm，用于第七代TFT-LCD光罩制作。它可以建立灰区掩膜版，同时又一个Z修正选项，用以去处又掩膜版和掩膜版之间平整度差异引起的变形。
Micronic Laser Systems, www.micronic.se.

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来源:半导体国际 作者: 时间:2005/3/8 0:00:00