内容导读：

 ; ; ; ; ; ; 这种磁性轴承是为高真空环境半导体制造和工艺而设计。他们可以无润滑油无污染运作，使潜在的小碎片污染降到最低，并且提升生产良率，同时他们能进一步使气体溢出达到最小化。这些轴承在涡轮分子泵和300mm晶圆中大钻孔旋转设备中发挥作用。
SKF USA Inc. ; www.skfusa.com

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来源:半导体国际 作者: 时间:2005/3/8 0:00:00