美国纽约Albany大学纳米科学和工程学院(CSNE)发表声明宣称收到了ASML Holding NV交付的全球第一套full-field研发EUV工具。声明中CSNE还表示将帮助欧洲研究学院IMEC装配另一台ASML的EUV蚀刻工具，使其能投入运行。

CSNE发言人拒绝透露该学院何时接收的这套EUV工具，但表示其声明基于一事实，即该工具在交付之前就能够在ASML运行，因此是第一套EUV工具。

CSNE纳米科学教授和技术副总裁James Ryan表示：“该工具在交付之前，在ASML现场就已完全合格并可操作，并生产了全球首批full-field EUVL曝光图像。我们相信，凭借ASML前沿的技术和支持，IMEC将帮助我们走向成功。我们也期待着与行业伙伴和ASML合作，使EUV制造现实可行。”