内容导读：

Brooks Automation公司的Guardian裸掩模版储存柜提供了一套性价比优异的方法来管理越来越多的掩模版存货。储存裸掩模版可以大大降低购买搬运和跟踪设备的费用，因而减少了资金投入，同时还可以真正地节约光刻区的占地面积。
　　掩模储存柜可以根据晶圆厂曝光设备对掩模操作要求，调整掩膜版掩模版储存柜的设计和重新配置。传统的密集盒式储存柜的掩模储存方法既没有灵活性又没有优异的性价比。而采用模块化设计方法的Guardian储存柜可以被迅速地重新配置，因而适应搬运设备和掩模类型的变化。Brooks Automation，www.brooks.com .

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来源:半导体国际 作者: 时间:2005/1/26 0:00:00