内容导读：

NSR－S308F"扫描型光刻机是高速度工作平台，适用于300mm晶圆，生产效率达到业内最高水准的140片/小时，并配备有世界最高等级的超高NA（0.92）投影镜头的ArF Excimer Laser。为实现客户易操作和易采购的供货目标，Nikon还同时开发了采用与S308F同种机型，配备有超高NA（0.82）投影镜头的KrF Excimer Laser"NSR－S208D"扫描型光刻机等"宽曝光范围步进型光刻机系列"。 Nikon, www.nikon.com Booth #5423

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来源:半导体国际 作者: 时间:2005/1/26 0:00:00