UF3000全自动探针台，可用于12"及8"硅片的测试。它安装了高精度光栅尺，采用专利的摄像头对准系统，综合精度可以达到2μm. 为提高运行速度，UF3000采用多CPU控制系统，大幅提高生产效率。在Windows NT系统下开发的软件系统及最新软件功能，使操作更加方便。Z轴有4个辅助支撑，使工作台可以承受200Kg的压力，可以同时承受2000根针同时测量。在接触控制方面，UF3000采用5步移动控制方式，使该探针台适用于各种探针卡，各种材料的引脚。UF3000可以与各种12"硅片承片盒连接，也可以连接自动车进行硅片传送。东精精密公司, Booth# 5453, www.accretech.jp