内容导读：

Expedius 300mm批次清洗系统是公司的旗舰清洗系统UW300Z的下一代产品。它提供了改进的传输机构，能够减少圆片在FOUP和传输区域中的时间，因此能够增加产量。它也减少了工艺中用于清洗/干燥单元的时间。最大的产能是每小时460片圆片。系统提供模块化的和标准的化学品分配单元，以满足对于客户的多种清洗需要进行灵活的支持。它也能在安装后做一些简单的改造以适应工艺的变化。
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来源:半导体国际 作者: 时间:2004/11/5 0:00:00