为先进的薄膜工艺制造的Litmas RPS 1501线性远程离子源能很好的适应圆片预清洗，去胶，栅介质淀积和原子层淀积（ALD）的应用。它也能促进广泛的多种其他先进工艺的应用的发展。特别是，它的即插即用的安装，广泛的匹配范围和小的占地面积可以减少新的腔体开始应用的时间。完全集成，远程，感应的等离子源和功率传输系统能够提供高的电导率，低的表面积，线性的几何形状。平台的固态功率匹配设计能够在<3msec中传输稳定的高频功率，直到1.5kw。
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