Model 5200 PanelPrinter的软件升级版能提供多层膜的精确多点对位（NPA）。增强的NPA功能使得在一层上的多点能够和前一层上的相应的点精确对位，来保证近似完美的套刻精度。这种NPA功能是现有的多点对位系统的加强，因为它集成了有公司专利的平台，这种平台专为校准衬底所提供，具有六个自由度。这套系统为需要0.8-4um分辨率的大尺寸衬底的光刻应用提供了先进的光刻技术。
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