内容导读：

Varafine Varaclean系列铜电镀过滤器是为减少缺陷数目和提高铜电镀工艺大批量生产的效率而设计的。过滤器采用了本公司的非对称性薄膜材料专利技术，可以滤掉最小尺寸为50nm的颗粒，同时维持很高的流速。过滤器有多种尺寸和级别可供选择，每种型号都可以达到99.9%以上的过滤效率。
　　Pall Corp.， www.pall.com

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来源:半导体国际 作者: 时间:2004/10/13 0:00:00