内容导读：

　　Accura℃机器人可负载系统是适合有两个或更多机械臂的先进光刻轨道。度量系统在工艺设备中象操作圆片这种移动时，将传送高精度的实时数据，以优化设备和系统到系统的性能，。设计使用蓝牙RF技术的无线通信，机器人能够把热能数据传送到分析软件，并用其处理，分析和显示。使用者能够统计地和图形地查看所需的数据来全面的理解圆片在放置、升温、稳定、降温和传送中的工艺环境。
　　SensArray Corp. 
       www.accurac.com

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来源:半导体国际 作者: 时间:2004/7/5 0:00:00