将等离子体制程科技运用在先进电子设备之制造和封装的Surface Technology Systems plc (STS) 公司，昨日宣布已接获来自微机电系统 (MEMS) 生产设备制造业者价值超过两百万英镑的订单。

该订单包括多个Pegasus的反应制程腔体，主要用于消费性成品的MEMS深硅微加工技术。Pegasus提供较其它市面上深硅刻蚀离子反应式 蚀刻机台更高的蚀刻率。STS 提供两种多腔体式平台做为多腔体操作之用：VPX 含有一个真空芯片匣和多达三个反应腔体，CPX 则有两个真空芯片匣和多达四个反应腔体。

这份新订单将使得STS目前的订货单金额超过1200万英镑，它们都在2006 年交货，大部分在今年上半年。这是STS自2001年以来最高的订货单水平。此前STS曾获得来自某家无线通讯组件领先供货商价值1百万英镑的多笔订单。