据Semiconductor Reporter网站报道，CI Systems Ltd.的CI Semi部门近期发布了一款可整合在工艺线内的湿法化学分析系统。该系统可以提供湿法工艺中化学浓度的实时监测，例如清洗、剥离、湿法刻蚀、CMP浆料和分配系统。

新一代的WetSpec200测试系统，通过利用近红外吸收光谱监测湿法工艺中液体的化学浓度，该系统同时可以支持8通路不同化学溶液的监测。WetSpec200通过提供模块化、可升级的标准在线监测，从而实现化学含量的在线实时调节。通过连接光纤，该系统可以安装在净化间外实施监测。

WetSpec200具有高度的测量精确性、可靠性和灵活性，可以提供一定范围内的标准和定制应用。

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http://www.semireporter.com/public/13594.cfm