据Semiconductor reporter网站报道，JEOL公司日前推出一种高分辨率冷场发射扫描电子显微镜（SEM），将能够分析半导体器件复杂的表面形貌。

这款新推出的JSM-7500F可以在1kV的加速电压下放大100万倍，分辨率达到1.4纳米。在30kV的加速电压下甚至能达到0.6纳米的分辨率，而样品尺寸最大可达200毫米。

JSM-7500F采用了一种低角度的背散射电子探测器避免了电荷积累。因此可以达到较高的分辨率。其最低加速电压甚至可以达到100V。

JSM-7500F还可以在同一个屏幕上同时提供四幅不同工作模式下的图片进行比较。

相关链接（英文）：http://www.semireporter.com/public/13224.cfm