SEMI盛会相约浦江
激情IC领舞中国
采访嘉宾：东电电子（上海）有限公司总裁 陈 捷
采访嘉宾：应用材料中国公司总经理 陈荣玲
采访嘉宾：东精精密设备（上海）有限公司总经理 堀江元
采访嘉宾：北京七星华创电子股份有限公司 盛金龙
采访记者：《半导体行业》杂志社执行主编 赵明华
采访记者：《半导体行业》杂志社记者 易 兵
1、请您畅想一下半导体设备产业的发展趋势？
陈捷：从市场角度来看，我个人认为，我们现在市场有一种“发散”的趋势。我们现在能看到INTEL、三星、IBM正朝着最尖端、最先进的方向去走。当年从6寸到8寸转变的时候，INTEL和IBM就是这行业的领导者，他们一带头，所有的公司也都跟着转变。这时我们看到了非常不同的一件事情，当技术领先的一些企业朝12英寸、90纳米、65纳米甚至英特尔现在朝着45纳米前进时，另外一些企业却并不急着提升到12英寸，那些做逻辑芯片和数码消费电子芯片的，反而觉得目前所掌握的0.25微米、8英寸技术是最佳的、最合适的，是现在主打市场的产品，反而没必要去提升到12英寸，甚至6英寸也可以做得很好。但从另外一个角度来讲，市场又越来越集中了，像INTEL这样的大公司变得更大，现在很多领域的大公司一个手就能数得过来。针对这些情况，设备厂商特别是一流厂商，不但要把握好高端市场同时需要重视开发中端市场。中国的市场我觉得相对来说，大部分都是中端加上一定的高端。这里面最大的契机是大家都觉得下一波推动半导体行业发展的是数码消费类产品，它对技术的需求并不很高，这一块的市场相当大，我们应当去关注这一领域。
陈荣玲： 半导体设备的发展是随着制造技术的发展而起伏跌宕，这个就是半导体产业独特的周期性。大家知道，2004年整个半导体产业包括设备行业都是一个好年，应用材料销售收入超过了80亿美元，2005年进入了调整期，对整个产业来说又是一个考验。消费类电子产品已经成为现今产业发展的驱动力。 消费类电子产品的高速普及和发展，从以前的个人电脑到现今手机、数码相机、数码随身听等的迅猛发展大大加速了产业的发展。 制造技术的发展再一次地推动着设备行业的创新。 从我们设备行业来讲， 12寸设备的需求占据了主导地位。 应用材料公司设备销售额一季度比05年同期增长了21%。预计二季度会比一季度有较大的的增长，我们预测2006年又是一个上升期。
堀江元：随着半导体器件生产向中国大陆的转移和集中，半导体设备行业也会在大陆有更大的发展。总体的增长率会高于全球的平均水平，并会在近期超过东南亚的规模。同时，同时会有越来越多的设备生产向大陆地区转移,这种趋势会先从二手设备的翻新开始，慢慢扩展到零部件，最后发展到整机。整个过程会比较漫长，主要是零部件的供应链，进出口关税，知识产权保护等的限制，所以我们判断主流设备的生产短期内不会在大陆开展。
终端电子设备的应用发展是半导体器件及半导体设备发展的原动力，特别是消费类的电子产品。这些产品的一个主流趋势是系统化，便携化。所以片上系统（SOC）和系统封装（SIP）都是IC发展的趋势。SOC设计，高复杂芯片制造过程中的良品率控制和提升，SOC测试，叠成封装为主的SIP都会高速增长。针对这种趋势，东京精密提供了超高感度的缺陷检测设备（WIN-WIN50），支持多Site测试的高精度探针台(UF系列)，以及叠层封装中必须的硅片超薄化设备等满足市场的需求。
盛金龙：设备行业是半导体行业的支撑行业，国际上，凡半导体集成电路产业发达的国家，设备制造业也一定非常发达。美国、日本和现在的韩国就是例子，而没有强劲的设备行业做支撑，半导体集成电路就可能不会长远的高速发展。从行业发展的角度讲，集成电路产业需要有设备行业的支撑才能高速发展起来。我国彩管业能够成为世界第一，设备行业应该说起了很大作用。更重要的是当时的彩管业的领导的远见卓识，现任华虹集团总裁的张文义同志当时是彩管企业的领导，他在当时就果断的选择了一些国产设备。设备国产化，使彩管线的投资成本成倍的降低，为国家和企业节约大量的投资成本，极大的促进了行业的发展。一方面我们需要集成电路产业的发展来支撑设备产业的发展，也需要设备行业的进步支撑集成电路的发展。设备行业确实有着巨大的市场，因为中国整机行业有巨大的市场从而促进集成电路的发展。目前集成电路的生产线的赢利能力比较低有许多原因，其中一个较大的原因就是设备的高昂造价带来的。我们希望集成电路行业的有识之士能为中国集成电路设备的发展提供支持，用一些国产设备，给他们释放技术的舞台和改进产品的机会。
2、二手设备在我国具有广阔的市场前景这个观点已经得到业内的普遍认可，但究竟什么是二手设备的最佳服务模式呢？
陈捷：我们要对自己的客户负责，比如说旧设备是我们的产品，如果我们不去做，别人会来帮我们做翻新、改造。他们如果做得不好，设备最终还是要回到我们这里做，这样就很被动。如果我们能够主动地去提供服务。第一，我们能够增加服务的收入，大部分客户还是相信原厂的会比较好，事实上确实如此;第二，这样可以避免非原厂改造带来的后遗症，同时让客户也花费更少的成本，减少客户不必要的损失。很多被原厂改造的二手设备性能应该远不如原设备，二、三台二手设备的性能及生产力或许才能达到一台新设备的效能。现在二手设备的客户是将来新设备的潜在客户，如果我们的服务好，他们自然就会在将来选择我们的产品。在二手设备的服务方面，价格上我们TEL有一定的优势，而且我们在中国培养了一大批优秀的工程师，在这方面有极大的竞争力。
陈荣玲：二手设备伴随着产业的发展，它的存在延长了设备的生命周期。过去一般设备的换代在三年左右，随着技术的创新发展，设备周期也越来越短。延长设备生命周期的办法有两种，一是把旧的设备搬个地方再生产，二是把设备重新制造。应用材料也提供二手设备，但不是简单的翻新，而是提升其价值。我们通过更高标准的再制造来提高设备的性价比。目前二手设备行业基本上有三种，一种是直接倒手旧设备，第二种是简单的翻新，第三种是充分提高设备的整体性能， 增加附加值并同时更新工艺软件。 应用材料销售的二手设备的价格会比其它公司略高一些，但从其增值和功能上来看，是客户量产的最佳选择。 同时，我们会根据客户的不同需求和应用，帮客户度身定制方案，提供全方位服务及解决方案。
随着应用材料全球再制造中心在上海外高桥的落户， 我们能够为中国客户乃至全球客户提供更贴身更全面的服务。
堀江元：这个对于每个公司的情况可能会是不太一样的，对我们公司的产品来说，我们的产品客户使用周期都是比较长的。一方面是因为我们公司的设备主要是测试方面的，另一方面我们公司早期是做精密仪器的，所以从最开始的设计到制造的过程中，都特别地用心，我们的设备至少都能用十年以上。一般来说十年以内我们都会提供服务。但是中国的市场比较特殊，设备即使不是通过我们这边卖的，可能很久了超过十年以上了，对于这些设备我们也是尽量在能够做到的范围内提供服务。其实为旧设备提供服务对推广新设备还是有益的，因为一些新厂是从旧设备开始起步，他也会慢慢的把技术提升到主流技术上来。我们考虑的还是将他们当做自己的客户来对待。
这可能是日本公司的一种特点，日本公司虽然不是终身雇佣，但一般的人都会在一个公司干很长时间吧。相比其他地方的设备厂商来说，因为这些人几十年来都在这个公司工作，对于以前很老的客户都比较熟悉。因此留下很多有经验的人，所以支持比较老的设备，日本公司在人力和技术上会比较有优势。我们公司目前还没有经营二手设备的业务。
盛金龙：我觉得二手设备的最佳服务模式基于选择可信赖的二手设备供应商，翻新公司的可信度、售后服务及技术人员的经验和专业技术水平是选择翻新公司的标准之一，避免中间商转包;设备选型时，充分考虑设备是否具有充分的货源供应，以保证后续服务的可能性;保障零部件更换，建立长期的服务支持。考察备件及耗材供应情况，避免买得起，用不起的现象发生;准备获致二手设备的可恢复性。确认设备原始生产厂家、型号及配置细节;翻新后设备的检验标准应达到原设备的标准，设备的装箱和运输应该按照原设备的标准来运作。
3、半导体设备市场不景气的05年，贵公司如何对应其低迷的市场？在06年转机时寻求其发展？
陈捷：从全球来说，去年其实是我们TEL有史以来第二好的一年。但是在中国我们设备市场去年掉了50%左右，其实从市场角度来讲是理所当然的事情，因为前几年成长得太快了。一个市场不可能一直这么成长，需要消化现成的产能，在这个基础上再进一步成长。我们自己应该怎么样对应这个市场？前年我们销售额最高的时候，已经感觉到有这个可能，市场需求会下降。当时我们TEL就控制了人员的增长。然后从03年开始我们就把非关键的工作都外包，我们的工程师只做技术含量比较高的服务。这样我们05年的时候就能把外包的工作拉回来自己做。然后去年趁市场不是很忙的时候，对员工进行培训，为自己做好充分的准备来迎接下一轮高潮的到来。今年，中国市场应该会比去年好很多，虽然很多厂要到明年才会进设备，但还是会有发展。
陈荣玲：市场低迷期，行业就会弥漫一种悲观的气氛，不能清楚地看到未来的发展趋势。应用材料有着很强的实力，除了设备制造和创新能力以外我们还提供最优秀的技术服务。05年很多的客户没有大量的购买设备来提高产能，但产能并不受到影响，在这个时候，我们积极的和客户一起工作来提升我们的价值。在技术创新方面改进和发展。
应用材料的研发投入占公司年收入的10%-15%，我们的策略是在低潮期会更强更快的投入研发和创新。我们为了降低成本更是想了很多办法，一个是提高我们的工作效率、优化财务和运作;对员工的培训上花力气，研发上下功夫。二就是更紧密的和供应商合作来降低成本。
堀江元：对于设备市场来说，05年是不太景气的一年。但是对我们公司来说，在中国这边我们增长了50%。我们预计06年还会在05年的基础上再成长15%，从我们中国分公司02年成立到现在为至一直在成长。到现在为止，我们中国分公司还没负增长过。能够一直在延续这种增长，主要是除了以前我们比较专业比较有优势的产品外，我们很早就在新的技术方面进行积累和开发，我们最近几年在新的一些产品开发比较成功。能够在市场的波动中还能保持增长，主要是新的产品能够扩大我们整体的销售，打开新的市场。我们新产品主要有：从单晶材料制造产品、划片、测检、背面减薄等。我们公司开发新产品不是盲目的。要做很多市场调研，确保开发出来的产品能让客户购买。
盛金龙：05年设备行业不能说不景气。因为从数字上看，国内的设备厂商都有大幅度的增长。但是因整线投资放缓使一些主干设备的供应商尤其是国际供应商出现整体下滑，这是可以理解的。目前市场情况还是较好的，主要是我们的客户没有集中在集成电路生产线上。在其他行业比如电力电子、太阳能电池等发展迅速行业有我们许多客户。
4、我们注意到，过去SEMICON展览仅为设备商参展，自05年设立分区，有设计和代工企业参展之外，06年SEMICON一大特色是整机厂商和零部件也参展，这意味着中国市场怎样的一个进步？对贵公司来说有怎样的帮助呢？
陈 捷：我觉得SEMI中国在丁总的带领下，非常得活跃。我非常欣赏他们的很多想法。今年第一次把零部件和相关产业带进来。其实中国会变成全球的制造中心，这是一个不争的事实，这样会促进一些设备厂商把生产制造搬到中国。如果不是一个产业的整个环节都在中国的话，这个产业并不能完全起来，中国政府也想在“十一•五”期间将基础产业做上去。设备产业对IC产业来说是一个基础产业。在中国，当然并不一定是国有企业的设备厂商起来才能算是中国的产业，现在已是全球一体化了，只要能把好的企业吸引到中国来，也是一种产业中国化，本地化的做法。现在把整个产业的上下环节都请到一起，产生的“共振”就更大了，交流共振以后，就会有机会、有新的思想。现在上下游的关系变得模糊了也就是说是更加紧密的关系。现在的芯片设计已经到了在设计时，要和代工和设备厂商一起商量的过程了。所以丁总的做法是把我们这些厂商都带动起来了，这对产业链、对大家都是非常有帮助的。
陈荣玲：我个人觉得这是SEMICON CHINA的一个特色，在去年的时候开始做的一些新的尝试。中国产业底子还比较薄，产业链正在完善。如果完全照搬国外SEMI展那种模式发展，那中国的展览就会很有限，涉及的产业面会不够广，因为国内资本投入的规模还是比较小的，制造商也比较少，随着产业的发展开始增多。我感觉到，国内集成电路产业设计公司的发展规模还比较小，这是一个比较受制约的地方。如果我们设备材料商能和用户结合起来，这样设计公司就会很有兴趣参与，这样对整个产业链的发展都是有帮助的。据我所知，今年会有更多的厂商愿意尝试参展， 这是中国的一个新模式，提供了一个很好的平台。对应用材料来说，主要是在展览中与客户进行技术交流，介绍最新的技术和产品， 对产业的促进进一份微薄之力。
堀江元：中国半导体市场还是一个比较新的市场，对于大家来说，很多厂商都是产品比较专一，整个产业都需要互动。现在SEMICON展览能够把包括设计、代工以及整机厂商和零部件都囊括进来，对于产业里的从业人员来说也是一个很好的帮助和机会，对于行业的促进肯定是很有好处的。还有一点，把整机厂商这些最终电子消费品厂商包括进来也可以让我们知道市场上有哪些东西是比较畅销的，市场上最终端用户的发展趋势是怎样的。电子消费品的厂商在中国的市场还是有全球性的代表意义的，它能够显示出全球消费电子的发展趋势。从这个信息我们也能看到，在半导体产业可能会有哪些产品会符合这些消费电子的需要，哪些产品在将来需求量会增加。作为我们设备厂商，我们当然也会考虑哪些产品以后可能会因为电子消费品收益，或者我们应该开发怎么样的一些设备去适应这种发展的趋势。
盛金龙：确实是，SEMI展已经是一个半导体行业的集大成的展览。过去集中在材料和设备展，随着产业链条的延伸，大家把参加SEMI展做为展现本行业特点和实力的舞台，行业中的所有上下游厂商都参加，使我们设备制造、IC制造、甚至材料制造都能找到适合的供应商，对行业发展是有益处的,同时也说明整个行业的发展速度还是非常快的。
5、贵公司最有代表性的产品有那些？请介绍一下参展的情况？
陈捷：其实以前的展览大家都带设备去，但现在大概大的厂家都不会带设备过去。但我们会将所有最先进的设备技术资料都带过去。我们发现中国的市场进步得非常快，好像前2年还是0.25微米，现在已经到了90纳米，中国其实赶超得速度非常快。为了让客户关注我们，我们会将最新的资料带给客户。这次参展我们会带很多的技术人员，为客户当场做一些技术咨询。
陈荣玲：在这次展会上，因为受到展会条件的的限制只能展出产品的多媒体演示。但是我们在现场技术人员提供全面产品线的咨询和解答。 我们把展会看作是一个交流的平台，充分与客户互动和交流。另外我们还会邀请客户到我们公司做进一步的培训。
堀江元：这次我们公司会有2台实物的设备展示。一个是我们的全自动12英寸的全自动探针台UF3000，另外一个是我们新开发的手动划片机。
盛金龙：我公司具有四十余年的微电子工艺设备研发和设计制造经验，先后为我国三十多条国产化半导体生产线配套供应前工序设备，承担并完成了国家多项大规模集成电路重点设备的科技攻关任务。经过多年的累积和研发设计，公司目前主要形成了氧化扩散系统、CVD系统、干法刻蚀系统和清洗系统四大系列产品。最具代表性的产品是我们的扩散炉和清洗机，我们可以根据客户的不同要求，为客户量身定做，提供最契合客户使用的高性价比的设备产品。本次通过参加Semicon China 2006，展示我们七星华创四十余年的风雨历程，坚持不懈力主创新，为国内半导体装备事业的发展壮大一直努力向前;同时也展示了我们的产品设备图片，大家可以看到我们最新的扩散炉、全自动清洗机、PECVD设备和气体质量流量计，欢迎大家届时光临我们的展位3号馆3243展台。
6、随着产业分工越来越细分化，客户对设备商的要求越来越高，贵公司相应的做到了怎样的进步呢？
陈捷：我们现在的服务和以前的服务，差异肯定有的，因为市场在变化。TEL其实是以服务起家的，所以我们对这方面是很注重的。我们进入中国以后，我们在这方面也做了一些变动，我们不单单做设备维修服务。中国还是个很年轻的市场，我们客户的工程师也都在成长，他们也在一个非常艰苦的环境下竞争，为了保证他们能赢利，我们肯定要全力地支持。我们的零部件都是全年准备的，现在也做了很多现地采购，因为我们在海关的信誉非常好，我们在外高桥保税区的零部件都可以做到先出货再报关，24小时服务，以最快的速度将产品提供给客户，充分保证客户的利益。工艺是在设备上体现出来的，我们的设备工程师要能配合他们的工艺工程师对工艺方面进行提高，所以我们的工程师都要了解客户方面的技术。
陈荣玲：我个人觉的，一个是不断的技术创新;还有一个是产品的商业化，这是很关键的，国内很多企业不能把研发成果转化为商品，这样研发只有投入没有产出。应用材料除了创新站在行业的前沿外，成果的转化和商品化也值得骄傲。我们强调核心技术，提高核心价值，更紧密同客户协作。我们更多地了解客户的需求来帮助客户成功。应用材料公司在提供最尖端设备的同时还提供最全面的服务。 应用材料24小时的全方位服务，为客户提供全方位解决方案。应用材料创新的系统，优越的服务来帮助客户成功， 也改善人们的生活。
堀江元：从我们公司来说，对于客户技术上的支持，包括有具体设备如何使用和工艺上的服务是非常重要的。特别在中国这个产业刚刚发展起来，而且这几年发展确实很快，对于我们的客户来说，有个很大问题就是设备可以买，高层人员可以引进，但是在实际设备应用中的很多工程人员，很多是没有经验的人，都是以前没有接触过这些设备的人。他们就需要设备厂商的支持，从技术、设备上，比如说怎样使用好这个设备，怎样来优化设备提高产能。从我们公司来说，我们考虑在外高桥那边设立一个设备试用的地方，帮助并给客户做培训，比较重要的还能解决客户一些工艺和技术上的问题，让我们的客户更好更安心地使用我们的设备。
盛金龙：经细化的产业分工对设备制造是有利的。比如过去我们要自己制造温度控制器，而现在我们仅需要购买温度控制模块，而这个模块由专业厂商来开发，使这个部件的成本大幅度降低，可靠性大幅度的提高，诸如此类的器件在设备行业中很常见，因此我们赞成产业化的细分。客户对设备制造商的要求从来都是高的，因为优秀的装备是效益的前提，而优秀的装备从设备制造商来，没有客户越来越高的要求，设备制造就没有了进步的原动力，集成电路企业本身的效益就不会有大的增长，作为设备公司，我们希望IC企业的快速增长，也希望用户对设备提出更高的要求。
七星华创微电子设备在在过去的几年里取得了长足的进步;我们研制的中国第一台8” 立式扩散炉通过国家验收，即将进入生产线通线量产，并已经确定了一些立式炉定单;我们自主研制的12”设备已经调试完成;我们自主研制的超高温扩散炉进入生产线;我们自主研制的单片清洗机进入α机组装;我们的整条太阳能电池片生产线已经提供给用户。尽管这样，我们与国际高水平比还有很大的差距。同时我也呼吁我们的国内同行，不要再在低水平上无序竞争，认真搞好自己擅长的专业，只有这样，我们国家半导体专用设备的整体水平才能上去。
陈 捷
东电电子（上海）有限公司总裁。1990年毕业于美国斯坦福大学半导体材料学，在半导体业界有十六年的工作经验，曾在Intel，Kokusai, Electric America，Watkins-Johnson等公司担任高级工程师，区域经理，市场、销售部总监等职。1997年加入Tokyo Electron开始拓展中国业务。
陈荣玲
1959年就读于浙江大学电子工程系，1964年在天津半导体器件厂工作，1982年赴美，先后在路易斯安纳州立大学、马里兰大学进修分子束外延技术、集成电路工艺及设计等。1984年加盟应用材料公司，先后担任业务发展经理、高级经理、总监、执行总监，中国公司副总经理、董事长等职务;先后分管应用材料公司亚太区业务、应用材料中国业务。现为应用材料中国有限公司董事长。
堀江元：
1972年日本大学电气工程学院毕业，到东京精密公司工作，任计测制品工程技术员。1975年担任Discrete tester Technical.2000年上任海外担当的职务。于2005年2月开始出任东京精密设备（上海）有限公司总经理。
盛金龙
毕业于中国电子科技大学，现任北京七星华创电子股份有限公司微电子设备分公司总经理，有半导体设备制造行业二十年从业经验。
