内容导读：

　　EnChem是用于铜CMP废水处理的设备。它可以除去半导体制程废水中的铜和其它污染物，使之达到废水排放的要求，处理后的水可以循环再利用。该工艺采用了一项专利膜技术，该技术已经通过评估并安装在半导体工厂中，用于铜CMP、硅土、铝CMP、氟化物、砷化物和其它重金属的处理。
　　Ionics Inc.   www.ionics.com

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来源:半导体国际 作者: 时间:2004/4/20 0:00:00