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Cymer公司推出ELS-7010型KrF(氟化氪)准分子光源，适用于大批量生产的248nm光刻应用。 ELS-7010工作的脉冲重复频率(PRR)为4kHz，可支持大批量晶圆生产的最高扫描速度。该产品改进的放电室散热效率和优化气流使输出功率达40W，半幅波宽(FWHM)下窄带宽小于0.35pm，95%能量积分小于1.2pm，因而具有良好的谱性能。 ELS-7010具有可变能量和重复频率操作(VERRO)特性，可增加处理范围，减少检修时间，并对波长稳定性具有高精度调节能力。ELS-7010与Cymer的e-Diagnostics及在线性能监控产品兼容，可实现远程故障处理和预测性维护 。

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来源:半导体国际 作者: 时间:2004/4/7 0:00:00