据EE Times网站报道，美国能源部阿尔贡国家实验室的附属公司Advanced Diamond Technologies Inc.(ADT)近期表示，公司将与ＭＥＭＳ开拓者Innovative Micro Technology及威斯康星大学合作，将在明年为DＡＲＰＡ供应ＲＦ　ＭＥＭＳ振荡器和谐振器。

ＭＥＭＳ器件将通过阿尔贡国家实验室授权ＡＤＴ的超纳米薄膜技术实现与ＣＭＯＳ芯片的集成。在已完成的ＣＭＯＳ芯片上特定区域实现ＭＥＭＳ电路部件的制作需要低温工艺。

样品器件实现了普通的１００ＭＨｚ的基准，ＡＤＴ公司ＣＴＯ　John Carlisle表示，采用本技术的ＭＥＭＳ振荡器在几年后有望实现３ＧＨｚ的频率基准。

市场调研机构Gartner预测，石英晶振的年市场需求大约为１０亿美元。SiTime Corp.已经开始提供ＭＥＭＳ振荡器芯片产品，该产品与石英晶体振荡器相兼容。

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http://www.eetimes.com/news/semi/showArticle.jhtml?articleID=192201243