关于国内半导体芯片厂投资兴建的传闻一直以来就是此起彼伏，不管个中的含金量是多是少，在建的近10家300mm和200mm晶圆厂确实是在有条不紊地进行着，且不说他们何时投产、产能多少，设备总还是要配置的。如此大的需求量，国内设备厂商是否可以分得一勺羹呢？

关注国内半导体设备市场的朋友可能已经留意到，在国家政府扶持、国外风险投资的介入以及国内一些半导体芯片厂商的支持下，国内设备业的一些关键设备已经有点儿眉目了。笔者对国内半导体前端设备的16家设备厂商的生产能力、技术走势做了调研与分析，数据基本可以代表中国本土前端的半导体设备市场，整理于SEMI的《中国本土芯片制造设备供应商报告》中。报告显示本土前端设备的销售额去年已达到整个中国（含国外公司在中国生产、销售）的5.09%，较上年增长23％。报告中提到一些设备：如北京中科信的200mm离子注入，中微300mm的刻蚀和CVD设备以及北方微电子200mm的刻蚀和CVD设备，沈阳芯源200mm的涂胶显影设备，七星华创和48所200mm的热处理设备，45所200mm的封装和清洗设备等都具有一定水平，其中有不少产品都在中芯国际做评估和使用。

今年4月在上海举行的2006集成电路产业链国际合作论坛上，中芯国际总裁兼首席执行官张汝京对国产设备给予了很高评价：“这些国产设备到目前为止效果非常好，不比国外设备差，目前只是缺少量产资料，下一步我们将与厂家在此方面进一步合作。” 张汝京坦言：“中芯国际愿意为国产设备厂家提供生产的测试平台。” 中芯国际这支橄榄枝到得非常及时，新研制的国产设备没有芯片厂家的认证是很难被市场所认可的，然而得到像中芯国际这样重量级芯片厂商的认证，国产设备的前景将不可小靓。

目前国内设备零部件面临两难的选择，国内零部件的技术和加工能力目前仍无法满足国内设备厂商的要求，而进口零部件昂贵的价格以及关税也是笔非常可观的支出。但为了确保设备的可靠性，很多国内设备的零部件还是由国外进口，最多占到整个零部件成本的90%或数量的70％。随着国内设备厂商愈做愈成熟，产量逐步扩大，对零部件的需求量也将是越来越大，所以国内设备厂商非常期望设备的零部件能够实现本土化。目前不少国际上重量级的设备厂商进驻中国，像是给尚在襁褓中的国产设备打了一记强心针，利弊各异，众说纷纭。但如果随着这些国际设备大厂入驻中国，那么中国这个市场就有足够的吸引力，把零部件供应商吸引过来。届时，国内设备厂商的零部件问题也可能稍得缓解。

尽管本土半导体设备较之去年有大幅增长，而半导体设备这块业务也只占到本土厂商约30％的利润，另有约50％的利润来自太阳能，剩余的约20％来自于LED等产业。由于半导体的制程和太阳能电池片的制程很相近，而半导体的制造工艺要求通常比太阳能的制造工艺复杂，所以依仗着在半导体领域的技术，很多国内半导体设备厂商还涉足于太阳能领域，从而也得到不少可观的利润。所以从某种程度上来讲，也可以说是半导体产业带动了太阳能产业。国内的设备厂商也表示，会将太阳能事业的产出继续跟进半导体设备的研发，挑战高端的半导体制造技术，站得高、看得远，才会在太阳能市场游刃有余。相辅相成、多元化的发展使得企业有更为广阔的生存空间。