P-611系列纳米对准平台装有超低惯性压电马达，能够灵活的实现X轴, Z轴, X轴和Z轴, X轴和Y轴以及X轴、Y轴和Z轴，单维或多维的无摩擦高精度、高速定向运动。系统能够用于开放或闭合回路中，并且每轴能够在100微米范围内实现纳米级高精度、高速度的运动。用于开放回路的系统依靠外部传感器或光学的反馈信号能够实现高精度的定位、扫描功能;而用于闭合回路的系统依靠内部高精度反馈信号能够进行高线性度、高重复性的绝对位置的控制。
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