借着SEMICON的人气，Entegris首次将其IntelliGen^(R)Mini 光化学点胶系统介绍到中国，该系统将过滤和点胶两个步骤分开，以获得更好的性能和更高的精度，是一款应用于300mm的高端产品。

　　去年8月，在完成和密科里的合并之后，应特格成立了一个新的部门，对两个公司原有互补的技术进行整合，应用于新产品的研发，IntelliGen^(R)Mini是两者整合的结果。另外，应用于90nm工艺以下浸入式光刻的液体系统（liquid system）也是两者结合的产品。

　　在未来的几年，基于国内几个12寸项目相继上马，国内芯片制造商日具有竞争力，Entegris中国300mm市场充满信心，研发力度推新品上加大筹码，期望将最新的技术和最好的应用经验引入到中国的300mm市场。除了IntelliGen^(R)Mini 光化学点胶系统外，Spectra^TM 300 毫米 FOUP 晶片载具也是一款针对300mm的产品。

　　Entegris中国区总监郭敏认为: 中国的半导体产业要继续保持这种与国际接轨的趋势和国际上先进厂商的合作将必不可少。给客户带去产品的同时，更要带去有价值的服务，这也是Entegris获得较高成长率的内因所在。